Les cibles de zirconium pulvérisé sont des ébauches de zirconium ou d'alliage de zirconium de haute pureté utilisées en pulvérisation cathodique magnétronique/dépôt sous vide (PVD). Elles sont bombardées d'ions argon sous vide pour pulvériser des atomes de Zr et former des films minces uniformes et denses de Zr, ZrN, ZrO₂, etc. à la surface de la pièce. Ce sont des matériaux de revêtement essentiels dans les domaines des semi-conducteurs, de l'optique, de la décoration et des énergies nouvelles.
Principales caractéristiques:
Point de fusion élevé : 1855℃, stable à haute température et résistant à la fissuration.
Forte résistance à la corrosion : résistant aux acides, aux alcalis, à l’eau de mer et à l’oxydation à haute température ; convient aux revêtements anticorrosion/résistants à l’usure.
Constante diélectrique élevée : le ZrO₂ (~25) est utilisé dans les couches diélectriques à haute constante diélectrique, un matériau clé dans les procédés semi-conducteurs avancés.
Densité : 6.51 g/cm³ (zircone pur).
Pureté : Qualité électronique **≥99.95 % (3N5), haut de gamme 99.99 % (4N)**, 99.999 % (5N).
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II. Principales applications
1) Puces semi-conductrices (haut de gamme)
Couche barrière d'interconnexion Cu : Pour les procédés de 90 nm et inférieurs, l'empilement Zr/Ta empêche la diffusion du cuivre et réduit le courant de fuite (puces CPU/mémoire).
Couche diélectrique à constante diélectrique élevée : le ZrO₂ remplace le SiO₂, améliorant les performances d'isolation du condensateur/de la grille (puces DRAM/logique avancée).
Couche de contact/Couche de passivation : Améliore la stabilité et la fiabilité du dispositif.
2) Revêtements optiques (appareils photo/écrans/verre)
Revêtement antireflet ZrO₂/Revêtement à haute réflectivité : Indice de réfraction ~2.1 (550 nm), lentilles d'appareil photo, verre AR/VR, écrans, filtres optiques.
Revêtement infrarouge/ultraviolet : Faible absorption, grande uniformité, équipement de communication optique/vision nocturne.
3) Revêtements décoratifs et durs (Biens de consommation haut de gamme/Quincaillerie)
Nitrure de zirconium (ZrN, or) : remplace le plaquage or ; utilisé dans les montres haut de gamme, les accessoires de salle de bain, les cadres de téléphones portables et les couteaux ; offre une résistance à l'usure, une résistance à la corrosion et un attrait esthétique.
Carbure de zirconium (ZrC) : Un revêtement ultra-dur utilisé dans les moules, les roulements et les outils de coupe ; prolonge la durée de vie.
4) Nouvelles énergies (batteries/électrolyse/photovoltaïque)
Électrolyte de batterie à l'état solide : Dépôt d'un film mince de **LLZO (zirconate de lithium et de lanium)** pour améliorer la conductivité ionique.
Revêtement anticorrosion pour cellules électrolytiques PEM : résistant aux acides forts et aux potentiels élevés, prolongeant la durée de vie des équipements.
Film antireflet pour verre photovoltaïque : améliore la transmission de la lumière et augmente la production d’énergie.
5) Biomédical (Implants)
Revêtement pour implants orthopédiques/dentaires : le film à gradient de ZrO₂ améliore l'ostéointégration, la résistance à la corrosion et la biocompatibilité (articulations artificielles/implants dentaires).
6) Autres applications
Couche tampon supraconductrice : YSZ (oxyde de zirconium stabilisé à l'yttrium) est utilisé dans les rubans supraconducteurs à haute température (YBCO) pour la croissance épitaxiale induite adaptée au réseau.
Industrie nucléaire : Faible section efficace d'absorption des neutrons, revêtement de gaine de combustible/composant structurel.
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QContrôle et essais de qualité
Chaque produit fait l'objet d'un contrôle rigoureux avant expédition :
Contrôle dimensionnel : Mesure précise de l'épaisseur, de la longueur et de la largeur
Analyse de la composition chimique et des propriétés mécaniques : rapports d’essais effectués par des tiers
Inspection de surface : Inspection visuelle et microscopique des défauts
Contrôle par ultrasons : Détection des défauts internes
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Pourquoi nous choisir
Technologie et qualité : Situés à Baoji, dans la vallée du titane en Chine, nous possédons une technologie de production professionnelle et une vaste expérience dans la fabrication de métaux non ferreux.
Couverture mondiale : Nous fournissons des produits de haute qualité de manière constante à nos clients en Australie, en Corée du Sud, en Allemagne, aux États-Unis, au Royaume-Uni, en Malaisie et au Moyen-Orient.
Engagement qualité : Nous ne faisons jamais de compromis sur la qualité et sommes responsables de chaque produit que nous fabriquons.
Assistance technique : Nous disposons d'un personnel professionnel qui supervise l'ensemble du processus, des matières premières aux produits finis !
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Produits et emballages expédiés
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